Telefon: 0911 1335-335
IT, E-Business

Innovationspreis Mikroelektronik 2008

 

Ansprechpartner (1)

Dipl.-Ing. (FH) Richard Dürr

Dipl.-Ing. (FH) Richard Dürr

Informationstechnik, Telekommunikation, E-Business, Technologietransfer Tel: +49 911 1335 320

Erlangen – Vier Preisträger teilen sich den Innovationspreis Mikroelektronik 2008. Die vom Förderkreis für die Mikroelektronik e.V. ausgeschriebene Auszeichnung wurde am 16. Oktober 2008 im Rahmen der Jahrestagung des Fraunhofer-Instituts für Integrierte Systeme und Bauelementetechnologie (IISB) durch den Vorsitzenden des Förderkreises, Dr. Dietrich Ernst, überreicht.

Dr. Michael Hornung, Gilbert Lecarpentier, Dr. Mathias Rommel und Holger Schmitt heißen die diesjährigen Preisträger. Gemeinsam haben sie an der „UV-Nanoimprint-Lithografie“ gearbeitet, einem Prägeverfahren, das im Vergleich zur aktuell für die Chipherstellung eingesetzten optischen Lithografie keine aufwendigen Linsenoptiken benötigt und somit kostengünstig kleinste Bauelementestrukturen abbilden kann.

Michael Hornung ist Projektmanager bei der Süss MicroTec Lithography GmbH in Garching, Gilbert Lecarpentier internationaler Produktmanager bei der französischen S.E.T. SAS. Gemeinsam mit Mathias Rommel und Holger Schmitt, Mitarbeiter am Fraunhofer IISB in Erlangen, konnten sie die Entwicklung im Bereich der Nanoimprintanlagen und -prozesse um einen großen Schritt voranbringen.

Elektronische Bauelemente wie z.B. CMOS-Transistoren werden immer kleiner. Der finanzielle und technische Aufwand, diese Bauelemente in riesigen Stückzahlen fertigen zu können, wächst rasant, auch deshalb, weil die physikalischen Grenzen zur Belichtung der Strukturen mittels optischer Lithographie erreicht sind. Umso wichtiger ist es, an alternativen Verfahren zu arbeiten.

Den Preisträgern ist es nun gelungen, ihr kostengünstiges Verfahren in zwei Anlagen zur Marktreife zu entwickeln, die es auch kleinen und mittleren Unternehmen ermöglichen, innovative Ideen in der Mikro- und Nanoelektronik umzusetzen. Neben der Herstellung kleinster Strukturen können mit diesem Verfahren auch dreidimensionale Strukturen übertragen werden, wodurch sich dieser Technologie ein breites Anwendungsfeld bietet.

„Dieses Beispiel zeigt in hervorragender Weise“, so Dr. Dietrich Ernst vom Förderkreis Mikroelektronik, „das Ziel unseres Innovationspreises, nämlich den wissenschaftlichen Erkenntnisfortschritt im Zusammenspiel mit der praktischen Umsetzung in der Wirtschaft auszuzeichnen“.

Förderkreis für die Mikroelektronik e.V.

Der Innovationspreis Mikroelektronik wird jährlich für herausragende wissenschaftliche Leistungen ausgeschrieben und ist mit 3.000 Euro dotiert. Bei der Beurteilung durch die Jury wird insbesondere der Erkenntnisfortschritt für die Mikroelektronik berücksichtigt und Wert auf die praktische Verwertung durch die gewerbliche Wirtschaft gelegt. Der Förderkreis für die Mikroelektronik e.V. ist ein Zusammenschluss von ca. 25 Unternehmen, zwei Fraunhofer-Instituten, vier Lehrstühlen der Universität Erlangen-Nürnberg und der IHK Nürnberg für Mittelfranken. Der Förderkreis verleiht jährlich auch einen Jugendpreis, vergibt Stipendien, fördert technisch-wissenschaftliche Veranstaltungen und Kooperationen zwischen Forschung, Entwicklung und Anwendung.

 

 
 
Device Index

Alle Ansprechpartner auf einen Blick