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Innovationspreis Mikroelektronik

Klare Kante

Dr. Matthias Koitzsch, Dirk Lewke und Dr. Martin Schellenberger vom Fraunhofer-Institut für Integrierte Systeme und Bauelementetechnologie IISB in Erlangen sowie Dr. Hans-Ulrich Zühlke von Jenoptik Automatisierungstechnik GmbH in Jena sind die Preisträger des diesjährigen „Innovationspreises Mikroelektronik“.

Mit der Auszeichnung würdigt der Förderkreis für die Mikroelektronik e.V. die Entwicklung eines innovativen laserbasierten Verfahrens, mit dem Mikrochips exakt und effizient separiert werden können.

Der Hintergrund der Entwicklung: Bei der Mikroelektronik-Produktion werden Hunderte oder sogar Tausende integrierter Schaltkreise (Mikrochips) auf Halbleiterscheiben (Wafern) aufgebracht. Anschließend müssen die Chips voneinander getrennt werden. Bisher wurden die Wafer zersägt, um die Chips zu separieren. Die Technologie des „Thermischen Laserstrahlseparierens“ (TLS), die am Fraunhofer IISB in enger Zusammenarbeit mit Jenoptik für die Mikroelektronikindustrie entwickelt und zur Marktreife gebracht wurde, ermöglicht dieses Separieren ohne Materialverlust und in hoher Qualität.

Durch einen Laserstrahl zur lokalen Erwärmung und eine gezielte Kühlung wird eine mechanische Spannung im Wafer induziert, die einen exakten Riss zwischen den Chips verursacht. Die wesentlichen Vorteile der Innovation: Der Trennvorgang geschieht ohne Abtrag von Materialien, sodass die Chips auf dem Wafer enger gepackt werden können. Das Verfahren im harten Siliciumcarbid ist bis zu 100-mal schneller als etablierte Verfahren. Zudem wird eine nahezu perfekte Trennkante erreicht, weshalb die vereinzelten Chips eine hohe Bruchfestigkeit aufweisen.

Der Innovationspreis Mikroelektronik wird jährlich für herausragende wissenschaftliche Leistungen ausgeschrieben und ist mit 3 000 Euro dotiert. Der Förderkreis für die Mikroelektronik e.V. ist ein Zusammenschluss von ca. 15 Unternehmen, zwei Fraunhofer-Instituten, vier Lehrstühlen der Universität Erlangen-Nürnberg und der IHK Nürnberg für Mittelfranken. Der Förderkreis verleiht jährlich den Innovationspreis und fördert technisch-wissenschaftliche Veranstaltungen sowie Kooperationen zwischen Forschung, Entwicklung und Anwendung.

 

WiM – Wirtschaft in Mittelfranken, Ausgabe 12|2013, Seite 56

 
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